| Holding | Jan 20 | Apr 20 | Jul 20 | Oct 20 | Jan 21 | Apr 21 | Jul 21 | Oct 21 | Jan 22 | Apr 22 | Jul 22 | Oct 22 | Jan 23 | Apr 23 | Jul 23 | Oct 23 | Jan 24 | Apr 24 | Jul 24 | Oct 24 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3D SYSTEMS CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| ABB Ltd | ||||||||||||||||||||
| ADVANTECH Co., Ltd. | ||||||||||||||||||||
| AEROVIRONMENT, INC. | ||||||||||||||||||||
| AIRTAC INTERNATIONAL GROUP | ||||||||||||||||||||
| Amano Corp | ||||||||||||||||||||
| AMBARELLA INC | ||||||||||||||||||||
| AppHarvest Inc | ||||||||||||||||||||
| APTIV PLC | ||||||||||||||||||||
| ATS CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| AUTODESK, INC. | ||||||||||||||||||||
| AutoStore Holdings Ltd. | ||||||||||||||||||||
| AZENTA, INC. | ||||||||||||||||||||
| BIOTELEMETRY, INC. | ||||||||||||||||||||
| BLUE PRISM GROUP PLC | ||||||||||||||||||||
| CADENCE DESIGN SYSTEMS, INC. | ||||||||||||||||||||
| Cargotec Oyj | ||||||||||||||||||||
| CELESTICA INC. | ||||||||||||||||||||
| COGNEX CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| DAIFUKU CO.,LTD. | ||||||||||||||||||||
| DAIHEN Corporation | ||||||||||||||||||||
| DASSAULT SYSTEMES SE | ||||||||||||||||||||
| DEERE & COMPANY | ||||||||||||||||||||
| DELTA ELECTRONICS, INC. | ||||||||||||||||||||
| Doosan Robotics Inc | ||||||||||||||||||||
| Duerr Aktiengesellschaft | ||||||||||||||||||||
| Elekta AB (publ) | ||||||||||||||||||||
| EMERSON ELECTRIC CO. | ||||||||||||||||||||
| Estun Automation Co Ltd | ||||||||||||||||||||
| FANUC CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| FARO TECHNOLOGIES, INC. | ||||||||||||||||||||
| FLIR SYSTEMS, INC. | ||||||||||||||||||||
| FUJI CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| GEA Group Aktiengesellschaft | ||||||||||||||||||||
| Global Unichip Corp | ||||||||||||||||||||
| GLOBUS MEDICAL, INC. | ||||||||||||||||||||
| GXO LOGISTICS, INC. | ||||||||||||||||||||
| Han's Laser Technology Industry Group Co., Ltd. | ||||||||||||||||||||
| Harmonic Drive Systems Inc. | ||||||||||||||||||||
| Hexagon Aktiebolag | ||||||||||||||||||||
| HIWIN TECHNOLOGIES CORP. | ||||||||||||||||||||
| HIWIN TECHNOLOGIES RTS | ||||||||||||||||||||
| HOLLYSYS AUTOMATION TECHNOLOGIES LTD. | ||||||||||||||||||||
| HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD. | ||||||||||||||||||||
| iFLYTEK CO.,LTD | ||||||||||||||||||||
| ILLUMINA, INC. | ||||||||||||||||||||
| INTUITIVE SURGICAL, INC. | ||||||||||||||||||||
| IPG PHOTONICS CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| IRHYTHM TECHNOLOGIES, INC. | ||||||||||||||||||||
| IROBOT CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| JAPANESE YEN FX Forward Contract: JPY/USD SETTLE 2023-02-01 | ||||||||||||||||||||
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| JENOPTIK Aktiengesellschaft | ||||||||||||||||||||
| Joby Aviation Inc | ||||||||||||||||||||
| JOHN BEAN TECHNOLOGIES CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| Kalmar Oyj | ||||||||||||||||||||
| Kardex Holding AG | ||||||||||||||||||||
| KEYENCE CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| KION GROUP AG | ||||||||||||||||||||
| KohYoungTechnologyInc | ||||||||||||||||||||
| KRONES Aktiengesellschaft | ||||||||||||||||||||
| LUMINAR TECHNOLOGIES, INC. | ||||||||||||||||||||
| MANHATTAN ASSOCIATES, INC. | ||||||||||||||||||||
| Materialise NV | ||||||||||||||||||||
| MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED | ||||||||||||||||||||
| Mitsubishi Electric Corporation | ||||||||||||||||||||
| N/A | ||||||||||||||||||||
| Nabtesco Corporation | ||||||||||||||||||||
| NATIONAL INSTRUMENTS CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| NORDSON CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| NOVANTA INC. | ||||||||||||||||||||
| NUANCE COMMUNICATIONS, INC. | ||||||||||||||||||||
| NVENT ELECTRIC PUBLIC LIMITED COMPANY | ||||||||||||||||||||
| NVIDIA CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| OCADO GROUP PLC | ||||||||||||||||||||
| OMNICELL, INC. | ||||||||||||||||||||
| OMRON Corporation | ||||||||||||||||||||
| OPTEX GROUP Company, Limited | ||||||||||||||||||||
| PTC INC. | ||||||||||||||||||||
| Qiagen N.V. | ||||||||||||||||||||
| QUALCOMM INCORPORATED | ||||||||||||||||||||
| RAVEN INDUSTRIES, INC. | ||||||||||||||||||||
| RENISHAW P L C | ||||||||||||||||||||
| ROCKWELL AUTOMATION, INC. | ||||||||||||||||||||
| Samsara Inc | ||||||||||||||||||||
| SCHNEIDER ELECTRIC SE | ||||||||||||||||||||
| SERVICENOW, INC. | ||||||||||||||||||||
| Shenzhen Inovance Technology Co., Ltd | ||||||||||||||||||||
| SHIBAURA MACHINE CO., LTD. | ||||||||||||||||||||
| SIASUN Robot & Automation Co., Ltd. | ||||||||||||||||||||
| Siemens Aktiengesellschaft | ||||||||||||||||||||
| SMC CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| STRATASYS LTD | ||||||||||||||||||||
| Symbotic Inc | ||||||||||||||||||||
| Tecan Group AG | ||||||||||||||||||||
| TELEDYNE TECHNOLOGIES INCORPORATED | ||||||||||||||||||||
| TERADYNE, INC. | ||||||||||||||||||||
| THK CO.,LTD. | ||||||||||||||||||||
| TOYOTA INDUSTRIES CORPORATION | ||||||||||||||||||||
| TRIMBLE INC. | ||||||||||||||||||||
| U.S. DOLLARS | ||||||||||||||||||||
| VARIAN MEDICAL SYSTEMS, INC. | ||||||||||||||||||||
| Vicarious Surgical Inc | ||||||||||||||||||||
| VOCERA COMMUNICATIONS, INC. | ||||||||||||||||||||
| XILINX, INC. | ||||||||||||||||||||
| YASKAWA Electric Corporation | ||||||||||||||||||||
| Yokogawa Electric Corporation | ||||||||||||||||||||
| ZEBRA TECHNOLOGIES CORPORATION |
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