| Holding | Jun 23 | Sep 23 | Dec 23 | Mar 24 | Jun 24 | Sep 24 | Dec 24 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3D Systems Corp | |||||||
| ABB Ltd | |||||||
| Advantest Corp | |||||||
| Altair Engineering Inc | |||||||
| Altium Ltd | |||||||
| Amada Co Ltd | |||||||
| Ambarella Inc | |||||||
| ams-OSRAM AG | |||||||
| Analog Devices Inc | |||||||
| ANDRITZ AG | |||||||
| ANSYS Inc | |||||||
| Applied Materials Inc | |||||||
| Argo Graphics Inc | |||||||
| ASM International NV | |||||||
| ASML Holding NV | |||||||
| Aspen Technology Inc | |||||||
| ATS Corp | |||||||
| Autodesk Inc | |||||||
| AutoStore Holdings Ltd | |||||||
| Azbil Corp | |||||||
| Bentley Systems Inc | |||||||
| Cognex Corp | |||||||
| Daifuku Co Ltd | |||||||
| Daihen Corp | |||||||
| Dassault Systemes SE | |||||||
| Denso Corp | |||||||
| Duerr AG | |||||||
| Emerson Electric Co | |||||||
| FANUC Corp | |||||||
| Fuji Corp/Aichi | |||||||
| Globus Medical Inc | |||||||
| Hexagon AB | |||||||
| HMS Networks AB | |||||||
| Hollysys Automation Technologies Ltd | |||||||
| IMI PLC | |||||||
| Interroll Holding AG | |||||||
| Intuitive Surgical Inc | |||||||
| Jenoptik AG | |||||||
| Kardex Holding AG | |||||||
| Keyence Corp | |||||||
| KLA Corp | |||||||
| Konecranes Oyj | |||||||
| Krones AG | |||||||
| Lam Research Corp | |||||||
| Lasertec Corp | |||||||
| Lattice Semiconductor Corp | |||||||
| Lincoln Electric Holdings Inc | |||||||
| Microchip Technology Inc | |||||||
| Nano Dimension Ltd | |||||||
| Nova Ltd | |||||||
| Novanta Inc | |||||||
| NVIDIA Corp | |||||||
| OKUMA Corp | |||||||
| Omron Corp | |||||||
| ON Semiconductor Corp | |||||||
| Onto Innovation Inc | |||||||
| Optex Group Co Ltd | |||||||
| Ouster Inc | |||||||
| PTC Inc | |||||||
| Renesas Electronics Corp | |||||||
| Renishaw PLC | |||||||
| Rockwell Automation Inc | |||||||
| Siemens AG | |||||||
| Silicon Laboratories Inc | |||||||
| State Street Global Advisors | |||||||
| STMicroelectronics NV | |||||||
| Stratasys Ltd | |||||||
| Symbotic Inc | |||||||
| TE Connectivity Ltd | |||||||
| TE Connectivity PLC | |||||||
| TechnipFMC PLC | |||||||
| Teledyne Technologies Inc | |||||||
| Teradyne Inc | |||||||
| Texas Instruments Inc | |||||||
| TKH Group NV | |||||||
| Tokyo Electron Ltd | |||||||
| Towa Corp | |||||||
| Yaskawa Electric Corp | |||||||
| Yokogawa Electric Corp |
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